Với đặc tính chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, chống mài mòn và cách nhiệt, gốm có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất chất bán dẫn ở điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.
Đây là Tay tác động cuối / Tay xử lý bằng gốm loại khay được sử dụng trong điều kiện chân không.
Bộ tác động cuối / Tay cầm bằng gốm có khả năng chịu nhiệt tốt hơn, ít bị lệch hơn và có trọng lượng nhẹ hơn so với kim loại.
Là nhà sản xuất hàng đầu về Bộ tác động cuối/Cánh tay xử lý bằng gốm, chúng tôi đã phát triển Bộ tác động cuối/Cánh tay xử lý độc đáo để đáp ứng nhu cầu của thị trường đó.Cánh tay xử lý / Bộ tác động cuối bằng gốm dựa trên Nguyên lý của Bernoulli có thể nâng và vận chuyển tấm bán dẫn qua luồng không khí với sự tiếp xúc ngoại vi tối thiểu.