-
Đầu kẹp bằng gốm alumina độ tinh khiết cao dành cho robot xử lý wafer.
Đầu kẹp bằng gốm alumina của St.Cera được gia công chính xác từ Al₂O₃ có độ tinh khiết cao 99,8% bằng thiết bị mài CNC 5 trục tiên tiến. Khả năng sản xuất của chúng tôi bao gồm các máy mài chính xác và trung tâm gia công CNC, cho phép tạo ra các hình dạng phức tạp với độ chính xác cao. Đầu kẹp có cấu hình mỏng (mỏng đến 1,5 mm) với cạnh dẫn hướng được vát để dễ dàng đưa wafer vào. Vật liệu này có độ cứng cao (modulus Young 380 GPa), khả năng chống mài mòn tuyệt vời và độ ổn định nhiệt lên đến 800°C. Mỗi đơn vị được mài chính xác để đạt độ phẳng 0,003 mm, độ song song 0,002 mm và độ nhám bề mặt Ra0,1, đảm bảo tiếp xúc wafer nhất quán và hoạt động không có hạt bụi trong môi trường nhà máy sản xuất bán dẫn. Có sẵn các chiều dài từ 150 mm đến 450 mm, với hình dạng đầu kẹp tùy chỉnh (kẹp cạnh, Bernoulli, phẳng) và mặt bích lắp đặt phù hợp với robot của nhà sản xuất thiết bị gốc (OEM). Các tùy chọn hoàn thiện bề mặt bao gồm mài nhẵn, đánh bóng hoặc phủ lớp chống tĩnh điện (10⁶–10⁹ Ω/sq).
-
Đầu kẹp Bernoulli bằng gốm alumina tùy chỉnh của ST.CERA
Là nhà sản xuất hàng đầu về đầu kẹp/cánh tay nâng bằng gốm, chúng tôi đã phát triển một loại đầu kẹp/cánh tay nâng độc đáo đáp ứng nhu cầu của thị trường. Đầu kẹp/cánh tay nâng bằng gốm dựa trên nguyên lý Bernoulli có khả năng nâng và vận chuyển tấm bán dẫn bằng luồng khí với tiếp xúc ngoại vi tối thiểu.
-
Đầu kẹp gốm ESD tùy chỉnh ST.CERA
Với các đặc tính chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, chống mài mòn và cách điện, gốm sứ có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất chất bán dẫn trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.
-
Đầu kẹp gốm alumina tùy chỉnh ST.CERA
Với các đặc tính chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, chống mài mòn và cách điện, gốm sứ có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất chất bán dẫn trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.
-
Đầu kẹp khay gốm alumina tùy chỉnh ST.CERA
Đây là một loại đầu kẹp/cánh tay thao tác bằng gốm dạng khay, được sử dụng trong điều kiện chân không.
Đầu kẹp/cánh tay thao tác bằng gốm có khả năng chịu nhiệt tốt hơn, ít bị biến dạng hơn và nhẹ hơn so với loại bằng kim loại.
-
Đầu hút chân không gốm alumina tùy chỉnh ST.CERA
Với các đặc tính chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, chống mài mòn và cách điện, gốm sứ có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất chất bán dẫn trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.
-
Đầu kẹp gốm alumina tùy chỉnh ST.CERA
ST.CERA cung cấp lớp phủ ESD và vật liệu gốm ESD cho đầu cuối (End Effector) được làm từ bột alumina có độ tinh khiết cao, được xử lý bằng phương pháp ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃.
-
Đầu hút chân không gốm alumina tùy chỉnh ST.CERA
Đây là một loại đầu kẹp/cánh tay thao tác bằng gốm dạng khay, được sử dụng trong điều kiện chân không.
Đầu kẹp/cánh tay thao tác bằng gốm có khả năng chịu nhiệt tốt hơn, ít bị biến dạng hơn và nhẹ hơn so với loại bằng kim loại.
Với các đặc tính chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, chống mài mòn và cách điện, gốm sứ có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất chất bán dẫn trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.
Được chế tạo từ bột alumina có độ tinh khiết cao, trải qua quá trình ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, sản phẩm có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃.
-
Bộ phận đầu cuối bằng gốm alumina tùy chỉnh của ST.CERA dùng cho việc xử lý tấm wafer.
ST.CERA cung cấp lớp phủ ESD và vật liệu gốm ESD cho đầu kẹp/cánh tay thao tác với kênh rỗng tích hợp. Chúng tôi chuyên về kỹ thuật tạo kênh dẫn khí chân không bên trong một khối vật liệu duy nhất mà không cần sử dụng chất kết dính.
Không có nguy cơ nhiễm bẩn, thoát khí hoặc hạt bụi. Đầu hút chân không/cánh tay thao tác của ST.CERA với công nghệ phủ đặc biệt được cách điện. Chúng tôi cũng có thể cung cấp vật liệu gốm ESD cách điện mà không cần lớp phủ nào.
Được chế tạo từ bột alumina có độ tinh khiết cao, trải qua quá trình ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, sản phẩm có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃. -
Các linh kiện thiết bị bán dẫn đầu cuối bằng gốm alumina
Ngăn ngừa sự phát sinh các hạt từ các cạnh vát hoặc góc cạnh và bề mặt phía sau trong quá trình vận chuyển hoặc khi tiếp xúc với đầu kẹp/cánh tay thao tác.
Đối với các thanh dẫn hướng, chúng tôi đã sử dụng vật liệu mềm không làm hỏng tấm bán dẫn.
Việc làm mỏng vật liệu có thể thực hiện được nhờ công nghệ kênh hút chân không tích hợp của ST.CERA mà không cần sử dụng chất kết dính.
Có thể tạo các lỗ lắp đặt và thay đổi chiều dài, chiều rộng của đế nơi gắn bộ phận cuối/cánh tay thao tác lên robot.
Các phụ kiện như cảm biến gắn, ốc vít và giá đỡ có sẵn dưới dạng tùy chọn.
Được thiết kế để sử dụng trong môi trường khí quyển.
-
Gia công CNC theo yêu cầu cho đầu kẹp gốm St.Cera.
ST.CERA cung cấp đầu kẹp/cánh tay thao tác bằng gốm chân không với kênh rỗng tích hợp. Chúng tôi chuyên về kỹ thuật tạo kênh dẫn khí chân không bên trong một khối vật liệu duy nhất mà không cần sử dụng chất kết dính.
Không có nguy cơ nhiễm bẩn, thoát khí hoặc hạt bụi. Đầu hút chân không/cánh tay thao tác của ST.CERA với kênh dẫn tích hợp có độ bền cao và có thể sử dụng ở nhiệt độ cao. Hơn nữa, chi phí sản xuất của chúng tôi có thể được giảm bớt bằng cách loại bỏ các công đoạn lắp ráp không cần thiết.
Được chế tạo từ bột alumina có độ tinh khiết cao, trải qua quá trình ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, sản phẩm có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃.
-
Đầu kẹp gốm chống tĩnh điện Alumina
Với các đặc tính chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, chống mài mòn và cách điện, gốm sứ có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất chất bán dẫn trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.
Được chế tạo từ bột alumina có độ tinh khiết cao, trải qua quá trình ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, sản phẩm có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃.
