Với đặc tính chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, chống mài mòn và cách nhiệt, gốm có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất chất bán dẫn ở điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.