Vòng cách điện PVD alumina cho hệ thống lắng đọng hơi vật lý (Physical VOD).
Vòng cách điện PVD của St.Cera được sản xuất từ alumina (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao 99,8% để sử dụng trong các hệ thống lắng đọng hơi vật lý (PVD). Vòng này cung cấp sự cách điện giữa các thành phần trong buồng, ngăn ngừa hiện tượng phóng điện hồ quang và đảm bảo hoạt động ổn định của plasma. Các đặc tính chính bao gồm độ bền điện môi cao (15×10⁶ V/m), điện trở suất >10¹⁴ Ω·mm²/m và độ ổn định nhiệt lên đến 1600°C. Khả năng gia công chính xác của chúng tôi cho phép đạt được đường kính ngoài lên đến 600mm, đường kính trong xuống đến 0,2mm, độ phẳng 0,003mm và độ hoàn thiện bề mặt Ra0.1. Độ xốp bằng không và tính trơ hóa học của vòng đảm bảo độ tin cậy lâu dài trong môi trường phún xạ khắc nghiệt.
Thông số kỹ thuật (dựa trên 99,8% Al)₂O₃& Khả năng sản xuất của St.Cera):
| Tài sản | Giá trị |
| Vật liệu | 99,8% Alumina (Màu ngà) |
| Tỉ trọng | 3,93 g/cm³ |
| Sức mạnh uốn cong | 361 MPa |
| Độ cứng Vickers | 16 GPa |
| Độ bền điện môi | 15×10⁶ V/m |
| Điện trở đặc hiệu | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Đường kính ngoài tối đa | 600mm |
| Đường kính trong tối thiểu | 0,2mm |
| Độ dày tối đa | 100mm |
| Độ phẳng | 0,003mm |
| Sự song song | 0,002mm |
| Hoàn thiện bề mặt | Ra0.1 |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | 1600°C |
Ứng dụng:
- • Các tấm cách điện đỡ mục tiêu trong hệ thống PVD
- • Bộ cách điện xuyên buồng
- • Vòng cách điện chắn trong hệ thống lắng đọng phún xạ
- • Cách ly điện áp cao trong buồng plasma
Độ chính xác trong sản xuất:
Độ đồng tâm: 0,01mm, độ tròn: 0,002mm, độ thẳng: 0,005mm, độ vuông góc: 0,005mm, đã được kiểm chứng bằng máy đo tọa độ (CMM).
AƯu điểm so với chất cách điện polymer:
- • Chịu được nhiệt độ 1600°C so với giới hạn <300°C của polyme.
- • Không thoát khí – duy trì độ chân không.
- • Chống ăn mòn do plasma và tác động hóa học.
Tùy chỉnh:
Có thể tùy chỉnh mặt cắt ngang, các tính năng lắp đặt, hình dạng bậc thang và nhiều thiết kế vòng tròn đồng tâm khác nhau.
