Tấm gốm alumina khổ lớn dùng cho ngành công nghiệp bán dẫn và các thiết bị công nghiệp.
St.Cera sản xuất các tấm gốm khổ lớn từ alumina (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao 99,8% với kích thước tối đa lên đến 1500mm chiều dài và 600mm chiều rộng. Khả năng mài chính xác của chúng tôi đạt được độ phẳng 0,003mm trên 100mm và độ song song 0,002mm, đảm bảo chất lượng bề mặt nhất quán cho các ứng dụng diện tích lớn. Độ dày lên đến 100mm, độ hoàn thiện bề mặt xuống đến Ra0.1. Các tấm này được sử dụng làm đế mâm cặp chân không, tấm gia nhiệt, tấm cách điện và sàn buồng xử lý trong sản xuất chất bán dẫn, màn hình và quang điện. Có sẵn các tùy chọn lỗ xuyên, khoét lỗ và tạo hình cạnh.
Thông số kỹ thuật (dựa trên 99,8% Al)₂O₃& Khả năng sản xuất của St.Cera):
| Tài sản | Giá trị |
| Vật liệu | 99,8% Alumina (Màu ngà) |
| Tỉ trọng | 3,93 g/cm³ |
| Sức mạnh uốn cong | 361 MPa |
| Độ cứng Vickers | 16 GPa |
| Độ bền điện môi | 15×10⁶ V/m |
| Chiều dài tối đa | 1500mm |
| Chiều rộng tối đa | 600mm |
| Độ dày tối đa | 100mm |
| Độ phẳng (trên 100mm) | 0,003mm |
| Sự song song | 0,002mm |
| Hoàn thiện bề mặt | Ra0.1 (được mài/đánh bóng) |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | 1600°C |
Ứng dụng:
- • Đế kẹp hút chân không cho các tấm wafer và tấm nền lớn.
- • Tấm gia nhiệt cho thiết bị xử lý nhiệt
- • Tấm cách điện trong hệ thống điện cao áp
- • Sàn buồng xử lý và tấm lót
Độ chính xác trong sản xuất:
Độ thẳng: 0,005mm, độ vuông góc: 0,005mm, đã được kiểm chứng bằng máy đo giao thoa laser.
Ưu điểm so với tấm kim loại:
- • Không bị nhiễm bẩn kim loại – yếu tố quan trọng đối với quy trình sản xuất chất bán dẫn.
- • Không phát thải khí – lý tưởng cho môi trường chân không
- • Khả năng chống mài mòn và hóa chất vượt trội
Tùy chỉnh:
Có thể tùy chỉnh các kiểu lỗ, đường viền cạnh, bề mặt bậc thang và khu vực lắp đặt mạ kim loại.
