Que định vị bằng gốm alumina chính xác dùng cho các thiết bị bán dẫn
Thanh định vị bằng gốm của St.Cera được mài chính xác từ alumina (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao 99,8%. Nó cung cấp độ cứng cao (16 GPa), khả năng chống mài mòn tuyệt vời và độ ổn định kích thước. Dung sai đường kính nhỏ đến ±0,005 mm, chiều dài lên đến 150 mm. Bề mặt thanh được mài nhẵn đến Ra ≤0,2 μm để dễ dàng lắp đặt và tháo gỡ. Được sử dụng làm chốt định vị, chốt định hướng hoặc điểm dừng định vị trong các thiết bị xử lý bán dẫn, khay wafer và thiết bị kiểm tra.
Thông số kỹ thuật (dựa trên 99,8% Al₂O₃):
| Tài sản | Giá trị |
| Vật liệu | 99,8% Alumina (Màu ngà) |
| Tỉ trọng | 3,93 g/cm³ |
| Sức mạnh uốn cong | 361 MPa |
| Độ cứng Vickers | 16 GPa |
| Mô đun Young | 380 GPa |
| Phạm vi đường kính | 1–20 mm |
| Phạm vi chiều dài | 5–150 mm |
Ứng dụng:
- • Các chốt định vị khay đựng wafer
- • Ống lót dẫn hướng chốt nâng
- • Chốt định vị đồ gá
- • Các trụ căn chỉnh thẻ thăm dò
Ưu điểm so với thép:
- • Không nhiễm từ, chống ăn mòn
- • Không phát sinh hạt bụi do mài mòn
- • Cách điện (>10¹⁴ Ω·mm²/m)
Tùy chỉnh:
Các đầu được vát cạnh, đường kính bậc thang, lỗ ren hoặc hình dạng đầu mũi tùy chỉnh.
