-
ST.CERA Thiết bị bán dẫn tùy chỉnh Mâm cặp gốm
Các quy trình quan trọng trong lĩnh vực bán dẫn đòi hỏi phải được thực hiện trong phòng sạch, đặc biệt là đối với các thiết bị cần hoạt động trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không và khí ăn mòn. Gốm sứ có thể duy trì độ ổn định cao trong môi trường vật lý và hóa học phức tạp.
-
ST.CERA Thiết bị bán dẫn tùy chỉnh Tấm gốm
Các quy trình quan trọng trong lĩnh vực bán dẫn đòi hỏi phải được thực hiện trong phòng sạch, đặc biệt là đối với các thiết bị cần hoạt động trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không và khí ăn mòn. Gốm sứ có thể duy trì độ ổn định cao trong môi trường vật lý và hóa học phức tạp.
-
Vòng lấy nét gốm bán dẫn tùy chỉnh ST.CERA
Các quy trình quan trọng trong lĩnh vực bán dẫn đòi hỏi phải được thực hiện trong phòng sạch, đặc biệt là đối với các thiết bị cần hoạt động trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không và khí ăn mòn. Gốm sứ có thể duy trì độ ổn định cao trong môi trường vật lý và hóa học phức tạp.
-
Cần cẩu nâng hàng bằng gốm alumina 99,5% tùy chỉnh của ST.CERA
Bộ phận kẹp/cánh tay nâng bằng gốm được lắp đặt trên robot xử lý wafer hoặc "bộ phận kẹp cuối" và được sử dụng để đưa các wafer silicon vào hoặc ra khỏi khay hoặc buồng xử lý.
Những lợi ích của việc sử dụng gốm sứ bao gồm giảm độ biến dạng do độ bền uốn cao, khả năng chịu nhiệt độ cao và loại bỏ tạp chất kim loại và các hạt bụi. -
Đầu kẹp gốm alumina tùy chỉnh ST.CERA
ST.CERA cung cấp lớp phủ ESD và vật liệu gốm ESD cho đầu cuối (End Effector) được làm từ bột alumina có độ tinh khiết cao, được xử lý bằng phương pháp ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃.
-
Vòng lấy nét gốm bán dẫn tùy chỉnh ST.CERA
Được làm từ gốm alumina có độ tinh khiết cao (trên 99,5%), tạo hình bằng phương pháp ép đẳng tĩnh nguội và nung ở nhiệt độ cao, sau đó được gia công và đánh bóng chính xác, các phụ tùng gốm này có thể đáp ứng mọi yêu cầu khắt khe của thiết bị bán dẫn nhờ các đặc tính chống mài mòn, chống ăn mòn, độ giãn nở nhiệt thấp và cách điện.
Với các đặc tính chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, chống mài mòn và cách điện, gốm sứ có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất chất bán dẫn trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.
Được chế tạo từ bột alumina có độ tinh khiết cao, trải qua quá trình ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, sản phẩm có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃.
-
Ống lót gốm alumina chính xác tùy chỉnh của ST.CERA dành cho ngành bán dẫn.
Được làm từ gốm alumina có độ tinh khiết cao (trên 99,5%), tạo hình bằng phương pháp ép đẳng tĩnh nguội và nung ở nhiệt độ cao, sau đó được gia công và đánh bóng chính xác, các phụ tùng gốm này có thể đáp ứng mọi yêu cầu khắt khe của thiết bị bán dẫn nhờ các đặc tính chống mài mòn, chống ăn mòn, độ giãn nở nhiệt thấp và cách điện.
Với các đặc tính chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, chống mài mòn và cách điện, gốm sứ có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất chất bán dẫn trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.
Được chế tạo từ bột alumina có độ tinh khiết cao, trải qua quá trình ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, sản phẩm có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃.
-
Đầu hút chân không gốm alumina tùy chỉnh ST.CERA
Đây là một loại đầu kẹp/cánh tay thao tác bằng gốm dạng khay, được sử dụng trong điều kiện chân không.
Đầu kẹp/cánh tay thao tác bằng gốm có khả năng chịu nhiệt tốt hơn, ít bị biến dạng hơn và nhẹ hơn so với loại bằng kim loại.
Với các đặc tính chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, chống mài mòn và cách điện, gốm sứ có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất chất bán dẫn trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.
Được chế tạo từ bột alumina có độ tinh khiết cao, trải qua quá trình ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, sản phẩm có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃.
-
ST.CERA - Ống và thanh gốm alumina 99,5% tùy chỉnh.
Với các đặc tính chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, chống mài mòn và cách điện, gốm sứ có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất chất bán dẫn trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.
Được chế tạo từ bột alumina có độ tinh khiết cao, trải qua quá trình ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, sản phẩm có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃.
-
Bộ phận đầu cuối bằng gốm alumina tùy chỉnh của ST.CERA dùng cho việc xử lý tấm wafer.
ST.CERA cung cấp lớp phủ ESD và vật liệu gốm ESD cho đầu kẹp/cánh tay thao tác với kênh rỗng tích hợp. Chúng tôi chuyên về kỹ thuật tạo kênh dẫn khí chân không bên trong một khối vật liệu duy nhất mà không cần sử dụng chất kết dính.
Không có nguy cơ nhiễm bẩn, thoát khí hoặc hạt bụi. Đầu hút chân không/cánh tay thao tác của ST.CERA với công nghệ phủ đặc biệt được cách điện. Chúng tôi cũng có thể cung cấp vật liệu gốm ESD cách điện mà không cần lớp phủ nào.
Được chế tạo từ bột alumina có độ tinh khiết cao, trải qua quá trình ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, sản phẩm có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃. -
Các linh kiện thiết bị bán dẫn đầu cuối bằng gốm alumina
Ngăn ngừa sự phát sinh các hạt từ các cạnh vát hoặc góc cạnh và bề mặt phía sau trong quá trình vận chuyển hoặc khi tiếp xúc với đầu kẹp/cánh tay thao tác.
Đối với các thanh dẫn hướng, chúng tôi đã sử dụng vật liệu mềm không làm hỏng tấm bán dẫn.
Việc làm mỏng vật liệu có thể thực hiện được nhờ công nghệ kênh hút chân không tích hợp của ST.CERA mà không cần sử dụng chất kết dính.
Có thể tạo các lỗ lắp đặt và thay đổi chiều dài, chiều rộng của đế nơi gắn bộ phận cuối/cánh tay thao tác lên robot.
Các phụ kiện như cảm biến gắn, ốc vít và giá đỡ có sẵn dưới dạng tùy chọn.
Được thiết kế để sử dụng trong môi trường khí quyển.
-
Gia công CNC theo yêu cầu cho đầu kẹp gốm St.Cera.
ST.CERA cung cấp đầu kẹp/cánh tay thao tác bằng gốm chân không với kênh rỗng tích hợp. Chúng tôi chuyên về kỹ thuật tạo kênh dẫn khí chân không bên trong một khối vật liệu duy nhất mà không cần sử dụng chất kết dính.
Không có nguy cơ nhiễm bẩn, thoát khí hoặc hạt bụi. Đầu hút chân không/cánh tay thao tác của ST.CERA với kênh dẫn tích hợp có độ bền cao và có thể sử dụng ở nhiệt độ cao. Hơn nữa, chi phí sản xuất của chúng tôi có thể được giảm bớt bằng cách loại bỏ các công đoạn lắp ráp không cần thiết.
Được chế tạo từ bột alumina có độ tinh khiết cao, trải qua quá trình ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, sản phẩm có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃.
