Cánh tay robot bằng gốm alumina độ tinh khiết cao dùng để xử lý tấm bán dẫn.
Cánh tay robot bằng gốm alumina của St.Cera được chế tạo chính xác từ Al₂O₃ (alumina) có độ tinh khiết cao 99,8%. Nó kết hợp độ bền uốn vượt trội (361 MPa), độ cứng cao (16 GPa) và mật độ thấp (3,93 g/cm³), tạo ra một cánh tay nhẹ nhưng cứng chắc để vận chuyển tấm bán dẫn. Hệ số giãn nở nhiệt của vật liệu (7,2×10⁻⁶/°C) gần giống với silicon, giảm thiểu sự không phù hợp về nhiệt trong quá trình xử lý.
Thông số kỹ thuật (dựa trên 99,8% Al₂O₃):
| Tài sản | Giá trị |
| Màu sắc | Ngà voi |
| Tỉ trọng | 3,93 g/cm³ |
| Sức mạnh uốn cong | 361 MPa |
| Độ cứng Vickers | 16 GPa |
| Mô đun Young | 380 GPa |
| Độ dẫn nhiệt | 32 W/m·k |
| Sự giãn nở nhiệt | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Độ bền điện môi | 15×10⁶ V/m |
Ứng dụng:
- Robot chuyển tấm bán dẫn chân không (200mm/300mm)
- Hệ thống xử lý khí quyển
- Tay đòn đầu cuối cho tự động hóa nhà máy sản xuất (FAB automation)
Quy trình sản xuất:
Ép đẳng tĩnh → gia công thô → thiêu kết ở 1600°C → mài chính xác CNC → làm sạch bằng sóng siêu âm → đóng gói trong phòng sạch cấp 100. Mỗi cánh tay được kiểm tra 100% bằng máy đo tọa độ (CMM) về độ phẳng (±0,01 mm) và độ nhám bề mặt (Ra ≤0,4 μm).
Kiểm soát chất lượng:
St.Cera đạt chứng nhận ISO 9001:2015. Chúng tôi thực hiện kiểm tra thẩm thấu thuốc nhuộm để phát hiện các vết nứt siêu nhỏ, kiểm tra độ bền uốn ba điểm và kiểm tra độ bền điện môi theo tiêu chuẩn ASTM D149.
Ưu điểm so với tay đỡ bằng kim loại:
- Nhẹ hơn thép không gỉ 50%
- Không bị ăn mòn điện hóa
- Giảm lượng hạt phát sinh (≤0,05 hạt/cm²)
- Có lớp phủ chống tĩnh điện (10⁶–10⁹ Ω/sq)
Tùy chỉnh:
Chiều dài từ 150mm đến 450mm, hình dạng đầu mũi (cầm cạnh, Bernoulli, hút chân không) và kiểu bố trí mặt bích lắp đặt theo bản vẽ của nhà sản xuất thiết bị gốc (OEM). Nguyên mẫu hoàn thiện trong 2 tuần.
Đối với đơn hàng số lượng lớn, vui lòng yêu cầu báo giá.
