Lõi gốm alumina độ tinh khiết cao dùng cho các thiết bị bán dẫn.
Lõi gốm alumina của St.Cera được tạo hình chính xác từ Al₂O₃ có độ tinh khiết cao 99,8%, mang lại độ bền điện môi vượt trội (15×10⁶ V/m), độ ổn định nhiệt lên đến 1600°C và khả năng chống biến dạng dẻo dưới tải trọng. Các lõi này được sử dụng làm các thành phần cấu trúc trong các thiết bị xử lý nhiệt độ cao, đế gia nhiệt, lớp lót buồng plasma và chất cách điện. Độ cứng cao (16 GPa) và độ hấp thụ nước thấp (0%) của vật liệu đảm bảo độ tin cậy lâu dài trong môi trường khắc nghiệt.
Thông số kỹ thuật(dựa trên 99,8% Al)₂O₃):
| Tài sản | Giá trị |
| Vật liệu | 99,8% Alumina (Màu ngà) |
| Tỉ trọng | 3,93 g/cm³ |
| Sức mạnh uốn cong | 361 MPa |
| Độ bền gãy | 3–4 MPa·m¹/² |
| Độ cứng Vickers | 16 GPa |
| Mô đun Young | 380 GPa |
| Độ dẫn nhiệt | 32 W/m·k |
| Sự giãn nở nhiệt (25-1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Độ bền điện môi | 15×10⁶ V/m |
| Điện trở đặc hiệu | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | 1600°C |
Ứng dụng:
- • Lõi gia nhiệt cho lò phản ứng màng mỏng
- • Tấm lót và tấm che buồng plasma
- • Vật liệu cách điện cao áp
- • Đế gá lắp cho robot xử lý wafer
Chế tạo:
Ép đẳng tĩnh → gia công phôi thô → thiêu kết ở 1600°C → mài CNC đến kích thước cuối cùng (dung sai ±0,01 mm). Mỗi lõi được kiểm tra bằng máy đo tọa độ (CMM) và máy dò khuyết tật siêu âm.
Đảm bảo chất lượng:
Đạt chứng nhận ISO 9001:2015. Kiểm tra vết nứt bề mặt bằng phương pháp thẩm thấu thuốc nhuộm; kiểm tra độ bền điện môi theo tiêu chuẩn ASTM D149.
AƯu điểm so với các loại gốm sứ khác:
- • Độ bền điện môi cao hơn zirconia (15 so với <10×10⁶ V/m)
- • Chi phí thấp hơn so với SiC cho các ứng dụng không liên quan đến plasma
- • Khả năng kháng hóa chất tuyệt vời đối với halogen (trừ HF)
Hình dạng tùy chỉnh:
Hình trụ, thanh vuông, tấm hoặc các hình dạng phức tạp. Kích thước chi tiết tối thiểu 0,5 mm.
Hãy liên hệ với chúng tôi để được hỗ trợ thiết kế lõi tùy chỉnh và mô phỏng nhiệt.
