Mâm cặp chân không bằng alumina 12 inch dùng cho xử lý wafer 300mm
Mâm cặp hút chân không 12 inch của St.Cera được chế tạo chính xác từ alumina (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao 99,8% để xử lý tấm wafer 300mm. Mâm cặp có bề mặt rãnh mịn (chiều rộng rãnh 0,5–1,0 mm, bước rãnh 2–3 mm) để đảm bảo phân bố chân không đồng đều trên toàn bộ đường kính 300mm. Độ phẳng được duy trì trong phạm vi 5 μm, cho phép cố định wafer không bị cong vênh trong quá trình cắt, mài mặt sau và kiểm tra. Độ bền uốn cao (361 MPa) và độ cứng (16 GPa) của vật liệu đảm bảo độ ổn định kích thước lâu dài ngay cả khi trải qua nhiều chu kỳ hút chân không.
Thông số kỹ thuật (dựa trên 99,8% Al₂O₃):
| Tài sản | Giá trị |
| Đường kính | 300 mm (12 inch) |
| Vật liệu | 99,8% Alumina (Màu ngà) |
| Tỉ trọng | 3,93 g/cm³ |
| Sức mạnh uốn cong | 361 MPa |
| Độ cứng Vickers | 16 GPa |
| Độ phẳng (trên 300mm) | ≤5 μm |
| Chiều rộng rãnh | 0,5–1,0 mm |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | 800°C |
| Độ bền điện môi | 15×10⁶ V/m |
Ứng dụng:
Cắt và khắc rãnh tấm wafer 300mm
Mài mặt sau của wafer (hỗ trợ wafer mỏng)
Kiểm tra và dò tìm bằng quang học
Mâm cặp tạm thời để gắn/tháo khuôn
Chế tạo:
Được mài và đánh bóng bằng máy CNC đến độ phẳng cuối cùng, tạo rãnh bằng bánh mài kim cương, làm sạch bằng sóng siêu âm và đóng gói trong phòng sạch cấp 100. Mỗi mâm cặp được kiểm tra 100% về độ phẳng (máy đo giao thoa laser) và độ sâu rãnh (máy đo biên dạng).
Thuận lợi:
Lượng hạt phát sinh thấp (≤0,05 hạt/cm²)
• Trơ về mặt hóa học với dung môi và axit
Bề mặt chống tĩnh điện (điện trở suất >10¹³ Ω·cm)
Có thể tùy chỉnh kiểu lỗ hút chân không và cổng phía sau.
