Vòng gốm alumina độ tinh khiết cao dùng cho buồng xử lý CVD/PVD
Vòng gốm của St.Cera được thiết kế đặc biệt để sử dụng trong buồng xử lý CVD (Phương pháp lắng đọng hơi hóa học) và PVD (Phương pháp lắng đọng hơi vật lý). Được sản xuất từ alumina (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao 99,8%, vòng này đóng vai trò là lớp lót buồng, vòng hội tụ hoặc thành phần của bộ dụng cụ xử lý để giữ plasma và bảo vệ thành buồng khỏi bị ăn mòn. Vật liệu này có khả năng chống plasma tuyệt vời, độ bền điện môi cao (15×10⁶ V/m) và độ ổn định nhiệt lên đến 1600°C, đảm bảo tuổi thọ cao trong môi trường plasma chứa flo khắc nghiệt. Dung sai kích thước chính xác (±0,05 mm trên đường kính trong/ngoài) và độ phẳng (≤10 μm) cho phép định vị cạnh wafer nhất quán, cải thiện độ đồng nhất của quá trình lắng đọng và giảm sự hình thành hạt.
Thông số kỹ thuật (dựa trên 99,8% Al₂O₃):
| Tài sản | Giá trị |
| Vật liệu | 99,8% Alumina (Màu ngà) |
| Tỉ trọng | 3,93 g/cm³ |
| Khả năng hấp thụ nước | 0% |
| Sức mạnh uốn cong | 361 MPa |
| Độ bền gãy | 3–4 MPa·m¹/² |
| Độ cứng Vickers | 16 GPa |
| Mô đun Young | 380 GPa |
| Độ dẫn nhiệt | 32 W/m·k |
| Sự giãn nở nhiệt (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Độ bền điện môi | 15×10⁶ V/m |
| Điện trở đặc hiệu | >10¹⁴ Ω·cm |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | 1600°C |
Ứng dụng:
- • Vòng lấy nét và vòng viền buồng CVD
- • Vòng chắn buồng PVD và vòng kẹp
- • Lớp lót buồng khắc và vòng che
- • Vòng giam giữ plasma trong hệ thống khắc điện môi
Quy trình sản xuất:
Ép đẳng tĩnh → gia công phôi thô → thiêu kết ở 1600°C → mài trong/ngoài bằng máy CNC → đánh bóng bề mặt → làm sạch bằng sóng siêu âm → kiểm tra 100% bằng máy đo tọa độ CMM. Bề mặt hoàn thiện siêu mịn (Ra ≤0,4 μm) giúp giảm thiểu sự bám dính của các hạt.
Kiểm soát chất lượng:
- • Kiểm tra kích thước 100% (đường kính trong, đường kính ngoài, độ dày, độ phẳng)
- • Kiểm tra vết nứt siêu nhỏ trên bề mặt bằng phương pháp thẩm thấu chất nhuộm.
- • Thử nghiệm độ bền điện môi theo tiêu chuẩn ASTM D149
- • Không thấy hiện tượng đổi màu hoặc rỗ xốp nào dưới kính hiển vi 20×.
Ưu điểm so với nhẫn kim loại hoặc thạch anh:
- • Tuổi thọ dài hơn 5–10 lần so với vòng nhôm trong plasma flo.
- • Không có tạp chất kim loại trong màng mỏng
- • Khả năng chống ăn mòn plasma cao hơn thạch anh (không bị rỗ bề mặt)
- • Duy trì khả năng cách điện >10¹⁴ Ω·cm ngay cả sau thời gian sử dụng lâu dài
Vật liệu thay thế — Silicon Nitride (Si)₃N₄):
Đối với các ứng dụng yêu cầu độ bền chống nứt cao hơn nữa (6,2 MPa·m¹/²) và khả năng chống sốc nhiệt tốt hơn (hệ số giãn nở 3,2×10⁻⁶/℃), có sẵn các vòng Si₃N₄. Tuy nhiên, alumina tiết kiệm chi phí hơn cho hầu hết các ứng dụng CVD/PVD. Vui lòng chỉ định vật liệu ưa thích khi đặt hàng.
Tùy chỉnh:
- • Lỗ xuyên, biên dạng bậc thang hoặc lỗ khoét rộng để lắp đặt
- • Bề mặt phủ Y₂O₃ để tăng cường khả năng chống plasma (tùy chọn)
- • Khắc laser số hiệu phụ tùng / mã lô hàng
Ghi chú:Các dữ liệu trên tuân thủ nghiêm ngặt bảng thuộc tính Al₂O₃ được cung cấp. Đối với vòng Si₃N₄, vui lòng tham khảo bảng dữ liệu Si₃N₄ riêng biệt được cung cấp.
