Mâm cặp chân không tiêu chuẩn làm từ alumina – Độ cứng cao cho gia công chính xác
Mâm cặp chân không làm từ alumina này được sản xuất từ 99,8% Al₂O₃, có bề mặt nhẵn, không xốp với các rãnh chân không được thiết kế riêng. Nó cung cấp độ cứng vượt trội (modulus Young 380 GPa) và độ phẳng (≤3 μm), lý tưởng cho việc mài, đánh bóng và cắt chính xác các tấm bán dẫn và linh kiện quang học. Độ dẫn nhiệt cao của vật liệu (32 W/m·k) đảm bảo sự đồng nhất về nhiệt độ trong quá trình gia công.
Thông số kỹ thuật(dựa trên 99,8% Al)₂O₃):
| Tài sản | Giá trị |
| Vật liệu | 99,8% Alumina (Màu ngà) |
| Tỉ trọng | 3,93 g/cm³ |
| Sức mạnh uốn cong | 361 MPa |
| Độ cứng Vickers | 16 GPa |
| Mô đun Young | 380 GPa |
| Độ dẫn nhiệt | 32 W/m·k |
| Độ phẳng | ≤3 μm (trên 200mm) |
| Độ nhám bề mặt (phía mâm cặp) | Ra ≤0,4 μm |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | 800°C |
Ứng dụng:
- • Mài mặt sau của wafer (mài thô và mài mịn)
- • Cắt chính xác các vật liệu dễ vỡ
- • Mài phẳng các chất nền gốm
- • Đánh bóng thấu kính quang học
Chế tạo:
Đánh bóng chính xác cả hai mặt → tạo rãnh kim cương (tùy chọn) → bo tròn cạnh → làm sạch bằng sóng siêu âm → kiểm tra độ phẳng 100% bằng máy đo giao thoa laser.
AƯu điểm:
- • Kết cấu chắc chắn giúp giảm thiểu độ võng khi chịu tải.
- • Không phát sinh hạt từ cấu trúc xốp
- • Dễ dàng vệ sinh (có thể lau bằng dung môi)
- • Rãnh hút chân không có thể tùy chỉnh (đồng tâm, xuyên tâm, kiểu mẫu tùy chỉnh)
Kích thước có sẵn:
Hình tròn: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; hình vuông/chữ nhật theo yêu cầu.
Chúng tôi cũng cung cấp các phiên bản làm bằng kim loại với độ bền cơ học cao hơn.
