Chốt đỡ bằng gốm cho các thiết bị cố định trong quy trình sản xuất bán dẫn.
Các chân đỡ bằng gốm của St.Cera (còn được gọi là chân nâng hoặc chân đỡ) được sử dụng trong các buồng xử lý bán dẫn để nâng các tấm wafer hoặc chất nền trong quá trình xử lý, gia nhiệt hoặc làm mát. Được sản xuất từ 99,8% alumina hoặc silicon nitride, các chân này có độ bền nén cao, ổn định nhiệt và kháng hóa chất. Thiết kế đầu hình bán cầu hoặc đầu phẳng giúp ngăn ngừa trầy xước wafer.
Thông số kỹ thuật(Nhôm oxit 99,8%):
| Tài sản | Giá trị |
| Vật liệu | 99,8% Al₂O₃ hoặc Si₃N₄ |
| Chiều dài | 10 – 100 mm |
| Đường kính | 1 – 10 mm |
| Hình dạng đầu | Hình bán cầu, phẳng, nhọn |
| Cường độ chịu nén (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa (Al₂O₃) | 1600°C |
| Hoàn thiện bề mặt | Được đánh bóng (Ra ≤0,4 μm) |
| Dung sai đường kính | ±0,01 mm |
Ứng dụng:
Các chốt nâng trong buồng CVD/PVD
Các chân đỡ dùng để nướng trên tấm gia nhiệt
Cấu trúc hỗ trợ thẻ thăm dò
Giá đỡ thuyền lò thạch anh
Chế tạo:
Mài không tâm chính xác đường kính ngoài → mài kim cương định hình đầu mũi → làm sạch bằng sóng siêu âm → kiểm tra kích thước 100%.
Kiểm soát chất lượng:
CMM để đo chiều dài/đường kính, máy so sánh quang học để đo bán kính đầu mũi, thử nghiệm tải trọng để kiểm tra độ bền nén (mẫu ngẫu nhiên trên mỗi lô). Không có tạp chất sắt từ (đã kiểm tra bằng nam châm).
Ưu điểm so với chân kim loại hoặc chân thạch anh:
Tuổi thọ cao hơn gấp 5 lần so với thép không gỉ.
Không có tạp chất kim loại trong buồng xử lý.
Khả năng chịu nhiệt cao hơn so với thạch anh (1600°C so với 1100°C)
Bề mặt chống dính (giảm sự bám dính của các hạt)
Tùy chỉnh:
Nhiều kiểu đầu mũi, đế ren hoặc trục côn.
Chúng tôi cũng cung cấp các chân SiC cho môi trường plasma khắc nghiệt.
