Đầu kẹp bằng gốm Silicon Carbide (SiC) – Độ cứng cao, thích hợp cho việc xử lý tấm bán dẫn ở nhiệt độ cao.
Đầu kẹp gốm SiC của St.Cera được sản xuất từ silicon carbide có độ tinh khiết cao (hàm lượng SiC 99,72%, Si tự do 0,05%) sử dụng nguyên liệu lô S1111. Sản phẩm có các đặc tính cơ học vượt trội: độ bền uốn 449 MPa (đo được), mô đun đàn hồi 457 GPa (đo được) và độ cứng Vickers 25–28 GPa (điển hình). Mật độ thấp (3,10–3,15 g/cm³, điển hình) mang lại độ cứng riêng cao, lý tưởng cho robot chuyển wafer tốc độ cao. Với độ dẫn nhiệt 120–150 W/m·K (điển hình) và hệ số giãn nở nhiệt 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (điển hình), đầu kẹp này tản nhiệt hiệu quả và duy trì độ ổn định kích thước trong quá trình xử lý ở nhiệt độ cao (lên đến 1600–1700°C, không tải). Màu đen/xám và khả năng hấp thụ nước bằng không đảm bảo tính tương thích với phòng sạch.
Thông số kỹ thuật(dựa trên báo cáo thử nghiệm SiC S1111 được cung cấp và các giá trị điển hình)):
| Tài sản | Giá trị |
| Vật liệu | SiC (99,72% SiC, 0,05% Si tự do) |
| Màu sắc | Đen/Xám |
| Tỉ trọng | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Khả năng hấp thụ nước | 0% |
| Sức mạnh uốn cong | 449 MPa (trung bình) |
| Độ bền gãy | 3,12 MPa·m¹/² (trung bình) |
| Mô đun đàn hồi | 457 GPa |
| Độ cứng Vickers | 25–28 GPa |
| Độ dẫn nhiệt (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Nhiệt độ sử dụng tối đa (không tải) | 1600–1700°C |
Ứng dụng:
● Xử lý tấm bán dẫn ở nhiệt độ cao (ủ sau, xử lý nhiệt nhanh, lắng đọng epitaxy)
● Buồng khắc plasma yêu cầu khả năng chống mài mòn cao
● Robot vận chuyển tốc độ cao (trọng lượng nhẹ, độ cứng cao)
Chế tạo:
Nung kết bột SiC → mài CNC chính xác biên dạng tay cần và các chi tiết lắp ráp → đánh bóng bề mặt → làm sạch bằng sóng siêu âm. Kiểm tra kích thước 100% và kiểm tra rò rỉ khí heli cho các ứng dụng chân không.
Kiểm soát chất lượng:
● Kiểm tra chiều dài, chiều rộng và độ phẳng bằng máy đo tọa độ CMM
● Kiểm tra độ bền uốn theo từng lô (theo tiêu chuẩn báo cáo thử nghiệm)
● Kiểm tra trực quan dưới kính hiển vi để phát hiện các khuyết tật bề mặt.
Ưu điểm so với alumina hoặc kim loại:
● Mô đun đàn hồi cao gấp 2 lần (457 so với ~380 GPa của alumina) – độ biến dạng ít hơn
● Độ dẫn nhiệt cao hơn gấp 3 lần – tản nhiệt nhanh hơn
● Chịu được nhiệt độ >1600°C so với 800°C của alumina trong không khí
● Mật độ thấp hơn thép – Giảm 40% trọng lượng
Tùy chỉnh:
Chiều dài 150–450 mm, hình dạng đầu mũi (cầm cạnh, Bernoulli, phẳng), kiểu mặt bích lắp đặt theo bản vẽ của nhà sản xuất thiết bị gốc (OEM).
*Tất cả dữ liệu cơ học nêu trên đều được lấy từ báo cáo thử nghiệm được cung cấp (lô S1111). Các giá trị về nhiệt và độ cứng là điển hình cho loại SiC này; vui lòng liên hệ với chúng tôi để được chứng nhận cụ thể theo từng lô.*
