Mâm cặp chân không bằng alumina dùng cho cắt và mài chính xác.
Mâm cặp chân không alumina của St.Cera được sản xuất từ Al₂O₃ có độ tinh khiết cao 99,8% với các rãnh chân không được gia công chính xác. Khả năng mài chính xác của chúng tôi đạt được độ phẳng 0,003mm và độ song song 0,002mm, đảm bảo cố định wafer không bị cong vênh trong quá trình cắt, mài mặt sau và kiểm tra. Vật liệu này có độ bền uốn cao (361 MPa), độ cứng (16 GPa) và độ ổn định nhiệt lên đến 800°C. Có sẵn các dạng tròn với đường kính ngoài (OD) lên đến 600mm và hình chữ nhật với chiều dài lên đến 1500mm. Các rãnh chân không được thiết kế tùy chỉnh (đồng tâm, xuyên tâm hoặc dạng lưới) để phù hợp với các yêu cầu quy trình cụ thể. Mỗi mâm cặp được kiểm tra bằng máy đo giao thoa laser và được cung cấp kèm theo báo cáo xác minh độ phẳng.
Thông số kỹ thuật (dựa trên 99,8% Al)₂O₃& Khả năng sản xuất của St.Cera):
| Tài sản | Giá trị |
| Vật liệu | 99,8% Alumina (Màu ngà) |
| Tỉ trọng | 3,93 g/cm³ |
| Sức mạnh uốn cong | 361 MPa |
| Độ cứng Vickers | 16 GPa |
| Đường kính ngoài (tối đa) | 600mm |
| Độ dày (tối đa) | 100mm |
| Chiều dài (tối đa) | 1500mm |
| Độ phẳng | 0,003mm |
| Sự song song | 0,002mm |
| Hoàn thiện bề mặt | Ra0.1 |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | 800°C |
Ứng dụng:
- • Cắt và khắc rãnh wafer (200mm/300mm và lớn hơn)
- • Mài mặt sau của các tấm wafer mỏng
- • Kiểm tra và dò tìm bằng quang học
- • Xử lý vật liệu nền lớn
Độ chính xác trong sản xuất:
- • Độ thẳng: 0,005mm
- • Độ vuông góc: 0,005mm
- • Độ tròn: 0,002mm
- • Độ đồng tâm: 0,01mm
