Các linh kiện gốm alumina chống tĩnh điện (ESD) dùng cho việc xử lý wafer nhạy cảm với tĩnh điện.
Các linh kiện gốm alumina an toàn chống tĩnh điện (ESD) của St.Cera được sản xuất từ Al₂O₃ có độ tinh khiết cao 99,8% với điện trở suất bề mặt được điều chỉnh ở mức 10⁶–10⁹ Ω/sq, đạt được thông qua quy trình pha tạp hoặc phủ lớp độc quyền. Các linh kiện này có khả năng tản điện tích tĩnh hiệu quả, ngăn ngừa hư hỏng do tĩnh điện đối với các tấm bán dẫn và thiết bị nhạy cảm. Vật liệu nền vẫn giữ được độ bền uốn cao (361 MPa), độ cứng (16 GPa) và độ bền điện môi (15×10⁶ V/m). Các linh kiện gốm an toàn ESD bao gồm các bộ phận đầu cuối, chốt nâng, thanh dẫn hướng và các đồ gá tùy chỉnh cho tự động hóa nhà máy sản xuất chip.
Thông số kỹ thuật(Dựa trên 99,8% Al₂O₃ với xử lý ESD.):
| Tài sản | Giá trị |
| Vật liệu cơ bản | 99,8% Alumina |
| Điện trở suất bề mặt (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/sq |
| Tỉ trọng | 3,93 g/cm³ |
| Sức mạnh uốn cong | 361 MPa |
| Độ cứng Vickers | 16 GPa |
| Mô đun Young | 380 GPa |
| Sự giãn nở nhiệt (25-1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | 800°C |
| Độ bền điện môi (khối lượng lớn) | 15×10⁶ V/m |
Lưu ý: Điện trở suất bề mặt ESD không được cung cấp trong bảng thuộc tính vật liệu kèm theo. Phạm vi trên là tiêu chuẩn công nghiệp cho gốm tiêu tán tĩnh điện. Vui lòng liên hệ với chúng tôi để nhận báo cáo thử nghiệm.
Ứng dụng:
● Đầu kẹp an toàn ESD dùng cho việc chuyển phôi wafer
● Các chân nối đất và các thiết bị chống tĩnh điện trong thiết bị FAB
● Kiểm tra ổ cắm điện cho các thiết bị nhạy cảm với tĩnh điện
● Dụng cụ phòng sạch, nơi kiểm soát tĩnh điện là yếu tố cực kỳ quan trọng
Sản xuất & Chất lượng:
Quy trình xử lý alumina tiêu chuẩn + xử lý bề mặt ESD → đo điện trở suất bề mặt theo tiêu chuẩn ANSI/ESD STM11.11. Mỗi linh kiện được kiểm tra 100% bằng điện cực vòng tròn đồng tâm.
Thuận lợi:
● Ngăn ngừa tổn thất năng suất do hiện tượng phóng tĩnh điện (ESD)
● Duy trì độ bền cơ học và khả năng kháng hóa chất của gốm sứ.
● Không phát sinh hạt từ hiện tượng phóng điện tĩnh
