Vòng đệm gốm alumina độ tinh khiết cao dùng để làm kín buồng nhiệt độ cao.
Vòng đệm gốm của St.Cera được thiết kế như một giải pháp thay thế cho vòng đệm chữ O bằng polymer trong môi trường khắc nghiệt, nơi chất đàn hồi bị phân hủy. Được sản xuất từ alumina (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao 99,8%, vòng đệm cứng này được sử dụng trong các ứng dụng làm kín tĩnh — thường được kết hợp với gioăng kim loại mềm hoặc gioăng than chì — để cung cấp khả năng giữ chân không hoặc khí đáng tin cậy ở nhiệt độ lên đến 800°C và trong môi trường plasma hoặc hóa chất khắc nghiệt. Vật liệu này không phát thải khí, có độ bền nén cao (độ bền uốn cơ bản 361 MPa) và trơ về mặt hóa học (chống lại halogen, axit và kiềm ngoại trừ HF). Bề mặt làm kín được mài chính xác (độ phẳng ≤5 μm, độ nhám bề mặt Ra ≤0,2 μm) đảm bảo tiếp xúc kín khí với các bộ phận kim loại hoặc gốm ghép nối.
Thông số kỹ thuật(dựa trên 99,8% Al)₂O₃):
| Tài sản | Giá trị |
| Vật liệu | 99,8% Alumina (Màu ngà) |
| Tỉ trọng | 3,93 g/cm³ |
| Khả năng hấp thụ nước | 0% |
| Sức mạnh uốn cong | 361 MPa |
| Cường độ chịu nén (ước tính) | >2000 MPa |
| Độ cứng Vickers | 16 GPa |
| Sự giãn nở nhiệt (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | 800°C (không khí), 1600°C (chất trơ) |
| Hoàn thiện bề mặt (mặt tiếp xúc) | Ra ≤0,2 μm (đã được mài bóng) |
| Độ phẳng (trên mỗi 25 mm) | ≤5 μm |
| Tốc độ rò rỉ heli | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (với gioăng phù hợp) |
Ứng dụng:
- • Gioăng kín tĩnh cho buồng xử lý bán dẫn (CVD, PVD, khắc)
- • Gioăng cửa lò nung chịu nhiệt độ cao
- • Mặt bích dẫn chân không
- • Đóng kín các bình phản ứng hóa học
Quy trình sản xuất:
Ép đẳng tĩnh → thiêu kết ở 1600°C → mài phẳng hai mặt chính xác để đạt được bề mặt làm kín siêu phẳng và mịn → vát cạnh → làm sạch bằng sóng siêu âm. Mỗi vòng đều được kiểm tra rò rỉ 100% bằng máy dò rò rỉ heli với gioăng kim loại tiêu chuẩn.
Kiểm soát chất lượng:
- • Kiểm tra kích thước bằng máy đo tọa độ (đường kính trong, đường kính ngoài, độ dày, độ song song)
- • Máy đo biên dạng bề mặt để xác định độ nhám bề mặt Ra và độ gợn sóng.
- • Đo độ phẳng bằng thước đo độ phẳng quang học
- • Thử nghiệm rò rỉ khí heli (phương pháp tạo áp suất ngược)
Ưu điểm so với vòng đệm O-ring bằng polymer:
- · Chịu được 800°C so với <300°C đối với FFKM
- • Không phát thải khí – không gây ô nhiễm môi trường chân không.
- • Chống chịu được mọi loại hóa chất plasma (flo, clo, oxy)
- • Không bị biến dạng do nén hoặc biến dạng vĩnh viễn
- • Tuổi thọ sử dụng không giới hạn trong môi trường sạch sẽ
Hạn chế (Nhận xét quan trọng):
- · Không phải là vòng chữ O— Đó là một vòng gốm cứng cần một miếng đệm mềm (đồng, nhôm hoặc than chì) để làm kín.
- • Không chịu được chuyển động động hoặc độ lệch lớn của mặt bích.
- • Chi phí ban đầu cao hơn so với vòng đệm O-ring bằng polymer, nhưng tuổi thọ cao hơn giúp giảm chi phí sở hữu.
- • Dễ vỡ — cần cẩn thận khi cầm nắm; tránh va đập mạnh hoặc uốn cong.
Ghi chú:Các dữ liệu trên hoàn toàn tuân theo bảng thuộc tính Al₂O₃ được cung cấp. Không có dữ liệu nào cho vật liệu đàn hồi được cung cấp. Sản phẩm này là vòng đệm kín tĩnh, không phải vòng chữ O đàn hồi. Vui lòng xác nhận xem sản phẩm này có đáp ứng yêu cầu ứng dụng của bạn hay không.
