Mâm cặp chân không bằng gốm xốp dùng để xử lý wafer bị cong vênh.
Mâm cặp gốm xốp của St.Cera được chế tạo từ alumina có độ tinh khiết cao với độ xốp mở đồng đều từ 30–45% và kích thước lỗ xốp từ 10 đến 100 μm. Không giống như các mâm cặp có rãnh thông thường, bề mặt xốp tạo ra chân không phân bố đều khắp mặt sau của wafer, giữ chặt các wafer bị cong vênh, mỏng hoặc bị tách rời mà không bị bong mép hoặc vỡ. Lực hút chân không nhẹ (có thể điều chỉnh bằng bộ hạn chế) cũng ngăn ngừa hiện tượng hằn vết ở mặt sau.
Thông số kỹ thuật(dựa trên 99,6% Al)₂O₃):
| Tài sản | Giá trị |
| Độ xốp | 30–45% |
| Kích thước lỗ chân lông trung bình | 10–100 μm (có thể lựa chọn) |
| Sức mạnh uốn cong | ≥250 MPa |
| Độ phẳng (trên 300mm) | ≤5 μm |
| Hoàn thiện bề mặt | Được đánh bóng (Ra 0,8 μm) |
| Mức độ chân không tối đa | -80 kPa |
| Nhiệt độ hoạt động | 400°C (không khí), 600°C (chất trơ) |
| Vật liệu | 99,6% Al₂O₃, ZrO₂ hoặc SiC |
Ứng dụng:
Mài mặt sau của tấm wafer mỏng (≤50 μm)
Gắn tấm bán dẫn bị cong vênh để cắt lát
Lấy mẫu chip riêng lẻ từ băng
Xử lý tấm kính
Sản xuất & Chất lượng:
Bột gốm trộn với chất tạo lỗ xốp hữu cơ → ép → thiêu kết → mài phẳng đến độ dày cuối cùng. Mỗi khối mẫu được kiểm tra độ đồng nhất chân không (độ lệch ≤5%) và kiểm tra phân bố kích thước lỗ xốp (SEM). Độ phẳng được đo bằng giao thoa kế laser.
Ưu điểm so với mâm cặp có rãnh:
Không có vết hằn trên cạnh wafer hoặc dịch chuyển khuôn
Giữ được các tấm bán dẫn bị cong vênh (độ cong lên đến 500 μm)
Loại bỏ tình trạng tắc nghẽn lỗ hút chân không.
Giá đỡ tự san phẳng cho chất nền mỏng
Tùy chỉnh:
Hình dạng tròn hoặc chữ nhật, kích thước lên đến 600 mm. Chúng tôi có thể lắp đặt vòng đệm kín cạnh hoặc vách ngăn chân không theo vùng. Có phiên bản có lớp lót kim loại dành cho các yêu cầu về độ cứng cao.
Hãy yêu cầu mẫu để kiểm tra kích thước và độ cong vênh của tấm wafer.
