-
Vòng gốm Alumina độ chính xác cao, các bộ phận gốm.
Được tạo hình bằng phương pháp ép đẳng tĩnh nguội và thiêu kết ở nhiệt độ cao, sau đó gia công chính xác và đánh bóng, các phụ tùng gốm sứ có thể đáp ứng mọi yêu cầu khắt khe của thiết bị bán dẫn nhờ các đặc tính chống mài mòn, chống ăn mòn, độ giãn nở nhiệt thấp và cách điện. Gốm sứ có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất bán dẫn trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.
Được chế tạo từ bột alumina có độ tinh khiết cao, trải qua quá trình ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, sản phẩm có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃.
-
ST.CERA - Thiết bị chế tạo bán dẫn tùy chỉnh - Mâm cặp gốm
Được tạo hình bằng phương pháp ép đẳng tĩnh nguội và thiêu kết ở nhiệt độ cao, sau đó gia công chính xác và đánh bóng, các phụ tùng gốm sứ có thể đáp ứng mọi yêu cầu khắt khe của thiết bị bán dẫn nhờ các đặc tính chống mài mòn, chống ăn mòn, độ giãn nở nhiệt thấp và cách điện. Gốm sứ có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất bán dẫn trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.
Được chế tạo từ bột alumina có độ tinh khiết cao, trải qua quá trình ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, sản phẩm có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃.
-
Đầu kẹp bằng gốm Silicon Carbide (SiC) – Độ cứng cao, thích hợp cho việc xử lý tấm bán dẫn ở nhiệt độ cao.
Đầu kẹp gốm SiC của St.Cera được sản xuất từ silicon carbide có độ tinh khiết cao (hàm lượng SiC 99,72%, Si tự do 0,05%) sử dụng nguyên liệu lô S1111. Sản phẩm có các đặc tính cơ học vượt trội: độ bền uốn 449 MPa (đo được), mô đun đàn hồi 457 GPa (đo được) và độ cứng Vickers 25–28 GPa (điển hình). Mật độ thấp (3,10–3,15 g/cm³, điển hình) mang lại độ cứng riêng cao, lý tưởng cho robot chuyển wafer tốc độ cao. Với độ dẫn nhiệt 120–150 W/m·K (điển hình) và hệ số giãn nở nhiệt 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (điển hình), đầu kẹp này tản nhiệt hiệu quả và duy trì độ ổn định kích thước trong quá trình xử lý ở nhiệt độ cao (lên đến 1600–1700°C, không tải). Màu đen/xám và khả năng hấp thụ nước bằng không đảm bảo tính tương thích với phòng sạch.
-
Mâm cặp chân không làm từ cacbua silic (SiC) dùng cho môi trường nhiệt độ cao và plasma.
Mâm cặp gốm gốc SiC của St.Cera được sản xuất từ silicon carbide có độ tinh khiết cao (lô S1111, SiC 99,72%, Si tự do 0,05%). Nó đạt được độ bền uốn đo được là 449 MPa, độ dai chống gãy là 3,12 MPa·m¹/² và mô đun đàn hồi là 457 GPa. Độ dẫn nhiệt điển hình của vật liệu (120–150 W/m·K) và độ giãn nở nhiệt thấp (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) cho phép tăng nhiệt độ nhanh và giảm thiểu độ cong vênh của wafer trong quá trình chu kỳ nhiệt. Mâm cặp có thể được cấu hình như một mâm cặp chân không xốp (dòng khí đồng đều) hoặc một mâm cặp tiêu chuẩn có rãnh. Với nhiệt độ sử dụng tối đa là 1600–1700°C (không tải) và khả năng chống ăn mòn plasma vượt trội, mâm cặp này lý tưởng cho quá trình xử lý wafer ở nhiệt độ cao (ủ, RTP) và các buồng khắc mạnh nơi mâm cặp alumina bị xuống cấp.
-
Phụ tùng gốm cho thiết bị bán dẫn, vật liệu gốm dùng trong sản xuất hàng hóa.
Được tạo hình bằng phương pháp ép đẳng tĩnh nguội và thiêu kết ở nhiệt độ cao, sau đó gia công chính xác và đánh bóng, các phụ tùng gốm sứ có thể đáp ứng mọi yêu cầu khắt khe của thiết bị bán dẫn nhờ các đặc tính chống mài mòn, chống ăn mòn, độ giãn nở nhiệt thấp và cách điện. Gốm sứ có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất bán dẫn trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.
Được chế tạo từ bột alumina có độ tinh khiết cao, trải qua quá trình ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, sản phẩm có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃.
-
Vòng mài gốm alumina có lớp lót kim loại dùng cho các ứng dụng mài phẳng có độ cứng cao.
Vòng mài alumina nền kim loại của St.Cera kết hợp lớp mài mòn gốm alumina độ tinh khiết cao (99,8% Al₂O₃) với lớp nền kim loại được gia công chính xác (thường là nhôm hoặc thép không gỉ). Thiết kế lai này mang lại khả năng chống mài mòn và tính trơ hóa học vượt trội của gốm trên bề mặt mài, trong khi đế kim loại bổ sung độ bền cơ học, dễ lắp đặt và khả năng chống gãy giòn. Lớp alumina có độ bền uốn 361 MPa, độ cứng Vickers 16 GPa và độ ổn định nhiệt lên đến 800°C. Đế kim loại được tùy chỉnh với các lỗ lắp đặt, chốt định vị hoặc đặc tính từ tính để tích hợp vào máy mài phẳng, máy mài hành tinh và thiết bị CMP.
-
Phụ tùng gốm sứ cho thiết bị trạm dò bán dẫn
Được tạo hình bằng phương pháp ép đẳng tĩnh nguội và thiêu kết ở nhiệt độ cao, sau đó gia công chính xác và đánh bóng, các phụ tùng gốm sứ có thể đáp ứng mọi yêu cầu khắt khe của thiết bị bán dẫn nhờ các đặc tính chống mài mòn, chống ăn mòn, độ giãn nở nhiệt thấp và cách điện. Gốm sứ có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất bán dẫn trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.
Được chế tạo từ bột alumina có độ tinh khiết cao, trải qua quá trình ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, sản phẩm có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃.
-
Gia công tùy chỉnh mâm cặp wafer gốm Al2O3
Được tạo hình bằng phương pháp ép đẳng tĩnh nguội và thiêu kết ở nhiệt độ cao, sau đó gia công chính xác và đánh bóng, các phụ tùng gốm sứ có thể đáp ứng mọi yêu cầu khắt khe của thiết bị bán dẫn nhờ các đặc tính chống mài mòn, chống ăn mòn, độ giãn nở nhiệt thấp và cách điện. Gốm sứ có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất bán dẫn trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.
Được chế tạo từ bột alumina có độ tinh khiết cao, trải qua quá trình ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, sản phẩm có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃.
-
Tấm gốm sứ chuyên dụng cho thiết bị bán dẫn ST.CERA theo yêu cầu.
Được tạo hình bằng phương pháp ép đẳng tĩnh nguội và thiêu kết ở nhiệt độ cao, sau đó gia công chính xác và đánh bóng, các phụ tùng gốm sứ có thể đáp ứng mọi yêu cầu khắt khe của thiết bị bán dẫn nhờ các đặc tính chống mài mòn, chống ăn mòn, độ giãn nở nhiệt thấp và cách điện. Gốm sứ có thể hoạt động trong nhiều loại thiết bị sản xuất bán dẫn trong điều kiện nhiệt độ cao, chân không hoặc khí ăn mòn trong thời gian dài.
Được chế tạo từ bột alumina có độ tinh khiết cao, trải qua quá trình ép đẳng tĩnh nguội, thiêu kết ở nhiệt độ cao và hoàn thiện chính xác, sản phẩm có thể đạt dung sai kích thước ±0,001 mm, độ nhám bề mặt Ra 0,1, khả năng chịu nhiệt 1600℃.
-
Mâm cặp chân không bằng alumina 12 inch dùng cho xử lý wafer 300mm
Mâm cặp hút chân không 12 inch của St.Cera được chế tạo chính xác từ alumina (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao 99,8% để xử lý tấm wafer 300mm. Mâm cặp có bề mặt rãnh mịn (chiều rộng rãnh 0,5–1,0 mm, bước rãnh 2–3 mm) để đảm bảo phân bố chân không đồng đều trên toàn bộ đường kính 300mm. Độ phẳng được duy trì trong phạm vi 5 μm, cho phép cố định wafer không bị cong vênh trong quá trình cắt, mài mặt sau và kiểm tra. Độ bền uốn cao (361 MPa) và độ cứng (16 GPa) của vật liệu đảm bảo độ ổn định kích thước lâu dài ngay cả khi trải qua nhiều chu kỳ hút chân không.
-
Đầu kẹp gốm alumina tích hợp kênh hút chân không
Đầu kẹp chân không alumina của St.Cera tích hợp các kênh chân không và lỗ hút được gia công chính xác trực tiếp vào thân alumina có độ tinh khiết cao 99,8%. Thiết kế này loại bỏ các miếng đệm chân không bên ngoài, cho phép kẹp trực tiếp wafer với lực giữ đồng đều. Độ bền uốn cao (361 MPa) và độ cứng (16 GPa) của vật liệu đảm bảo độ ổn định kích thước lâu dài dưới các chu kỳ hút chân không lặp lại. Độ phẳng trên toàn bộ diện tích miếng đệm được duy trì trong phạm vi 10 μm, ngăn ngừa ứng suất và vỡ wafer. Các cổng hút chân không được đặt ở mặt bích gắn phía sau để dễ dàng tích hợp với các cánh tay robot của nhà sản xuất thiết bị gốc (OEM).
-
Các linh kiện gốm alumina chống tĩnh điện (ESD) dùng cho việc xử lý wafer nhạy cảm với tĩnh điện.
Các linh kiện gốm alumina an toàn chống tĩnh điện (ESD) của St.Cera được sản xuất từ Al₂O₃ có độ tinh khiết cao 99,8% với điện trở suất bề mặt được điều chỉnh ở mức 10⁶–10⁹ Ω/sq, đạt được thông qua quy trình pha tạp hoặc phủ lớp độc quyền. Các linh kiện này có khả năng tản điện tích tĩnh hiệu quả, ngăn ngừa hư hỏng do tĩnh điện đối với các tấm bán dẫn và thiết bị nhạy cảm. Vật liệu nền vẫn giữ được độ bền uốn cao (361 MPa), độ cứng (16 GPa) và độ bền điện môi (15×10⁶ V/m). Các linh kiện gốm an toàn ESD bao gồm các bộ phận đầu cuối, chốt nâng, thanh dẫn hướng và các đồ gá tùy chỉnh cho tự động hóa nhà máy sản xuất chip.
